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主题: 武汉衍熙微器件有限公司射频器件研产基地项目 环境影响报告书简本

  • duanzhi
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  • 发表于:2017/12/11 21:27:35
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武汉衍熙微器件有限公司射频器件研产基地项目

环境影响报告书简本

根据原国家环保总局环发2006[28号]《环境影响评价公众参与暂行办法》的要求,我公司现将《武汉衍熙微器件有限公司射频器件研产基地项目环境影响报告书(简本)》公开,并征求公众意见。您可以通过信件、E-mail、电话等形式提供您的宝贵意见和建议。



一、征求意见范围、事项

1、征求公众对项目建设的意见和看法

2、征求公众对项目施工期和运营期关心的环境问题。



二、公众提出意见的主要方式

以书面意见、电子邮件、电话等方式与承担环评工作的环评单位、建设单位直接联系。

三、征求意见时间

公众对建设项目有环境保护意见的,应当自公告之日起十个工作日内,可同时向建设项目单位或环境影响报告编制单位提出。

四、联系方式

1.建设项目单位及联系方式

1、建设单位:武汉衍熙微器件有限公司

2、联系人:段工

3、联系方式:027-81380830

2.承担项目环评机构名称及联系方式

1、承担项目环评机构名称:湖北君邦环境技术有限责任公司

2、联系地点:湖北省武汉市发展大道176号兴城大厦A501

3、联系人:王工

4、联系方式:

Tel:027-65681136;E-mail:gimbol@vip.sina.com

五、简本内容

1.项目概况

随着电子产品的需求量不断增大,晶圆的需求量也随之加大,在优越的市场发展背景下,武汉衍熙微器件有限公司拟租赁武汉德威斯电子技术有限公司已建成厂房约1200m2实施“武汉衍熙微器件有限公司射频器件实验室项目”。项目总投资2950万元,主要在租赁的现有厂房内新建200m2无尘实验室,配套建设300m2办公区域和700m2动力区域,并新增试生产线1条(1台PVD溅射设备),项目建成后将形成年产射频测试晶圆500片的生产能力。该项目已于2017年9月11日获得武汉市江夏区行政审批局的审批(夏行审建许准字(环审)[2017]第037号)。

2017年11月,随着电子产品的需求量不断增大,晶圆的需求量也随之加大,在优越的市场发展背景下,武汉衍熙微器件有限公司拟租赁武汉德威斯电子技术有限公司已建成厂房在“射频器件实验室项目”的基础上实施“射频器件研产基地项目”,总投资3亿元,租赁武汉德威斯电子技术有限公司已建成厂房约5600m2,主要在租赁的现有厂房内新建1400m2无尘洁净室,并配套建设办公区、动力区、污水处理站等设施。项目建成后将形成年产射频晶圆3万片的生产能力。

2.环境质量现状评价

2.1 环境空气

项目所在地的PM10、SO2、NO2、氟化物能够满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准;硫酸、氯化氢、氨气、氯、硫化氢能够满足《工业企业设计卫生标准》(TJ36-79)中居住区大气中有害物质的最高容许浓度; TVOC 8小时均值能够满足《室内空气质量标准》(GB/T18883-2002)标准要求。

2.2地面水

2016年长江(武汉段)纱帽和杨泗港监测断面各污染物监测结果均未超标,满足《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中“III类水体”水质要求;汤逊湖水质不能满足《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中“III类水体”水质要求,指标中COD、BOD5和总磷指标出现超标现象,超标倍数分别为0.43、0.10和1.54倍。

2.3 声环境

项目四周厂界昼夜间噪声监测值均符合《声环境质量标准》(GB3096-2008)“2类”标准要求,项目所在区域声环境质量现状情况良好。

2.5 地下水环境

项目所在区域地下水能够满足《地下水质量标准》(GB/T 14848-93)“Ⅲ类标准”要求。

2.6 土壤环境

项目所在区域土壤能够满足《展览会用地土壤环境质量评价标准》(暂行)(HJ 350-2007)中B级标准要求。

3.工程分析

项目产品晶片的生产工艺主要包括晶圆清洗、薄膜工艺和图形化工艺,具体工艺流程与产物环节见下图。





4.产业政策符合性

根据中华人民共和国国家发展与改革委员会2011年第9号令及2013年第21号令《产业结构调整指导目录(2011年本)(修正)》可知,本项目为8英寸集成电路芯片(采用40~50nm技术)制造,属第一类“鼓励类”中第二十八条“信息产业”中第十九款“集成电路设计,线宽0.8微米以下集成电路制造,及球栅阵列封装(BGA)、插针网格阵列封装(PGA)、芯片规模封装(CSP)、多芯片封装(MCM)等先进封装与测试”。同时,项目已通过武汉市江夏区发展和改革委员会的备案。因此项目符合国家产业政策。

5.污染防治措施及达标排放

5.1废气污染防治措施及达标排放



本项目产生的废气包括酸碱废气、有机废气及工艺尾气三大类废气,根据废气的不同特点。

酸碱废气中的酸性废气来自于湿法蚀刻工序,湿法蚀刻液主要成分为盐酸、磷酸、硝酸和醋酸、硫酸酸等,主要污染物为硫酸雾和NOx(硝酸分解)等。碱性废气主要来自于光刻工序中使用的碱性显影液,碱性废气的主要成分是氨气。项目酸碱废气通过酸碱喷淋塔喷淋后通过15m高排气筒排放。

有机废气主要来自于贴膜、光刻胶涂胶工序。主要污染物以VOCS计,经焚烧处理后通过15m高排气筒排放。

工艺废气主要来自于干法蚀刻和化学气相沉积工序,主要污染物由N2O、SiH4、NH3、PH3、SF6、CF4、Cl2、BCl3等,通过各自设备自带的Scrubber废气处理系统处理后同酸碱废气一同进入酸碱废气喷淋塔喷淋处理后通过15m高排气筒排放。

项目废气经治理后,氮氧化物、二氧化硫、氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾和颗粒物污染物排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级和无组织排放监控点标准限值;氨排放执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表1新扩改建二级和表2标准;挥发性有机物排放参照执行上海市地方环境保护标准中的《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2006)标准。

5.2 废水污染防治措施及达标排放



厂区废水采用雨污分流、分质处理。本项目废水主要为生产废水和生活污水。根据生产废水性质,拟建项目废水处理系统分为有机废水处理系统、酸碱废水处理系统。

工艺酸碱废水、废气洗涤塔废水进入酸碱废水处理系统处理。工艺产生的有机废水进入有机废水处理系统处理。处理后的生产废水同经化粪池处理后的生活污水一同经废水总排口排入市政管网,最终进入汤逊湖污水处理厂处理。经预测,项目各排口各污染物浓度能够满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准要求。

5.3 噪声污染防治措施及达标排放



本项目噪声源主要包括冷冻机组、真空泵、风机等各类生产设备噪声。建设单位将采取吸声、消声、隔声等控制措施,从而降低噪声源在传播途径中的声级值。各噪声源经治理后再经距离衰减,各厂界处噪声可满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类和4A区标准要求。

5.4 固体废物污染防治措施及达标排放



项目建成投产后,生活垃圾委托当地环卫部门卫生填埋。一般工业固体废物委托物资公司回收利用,危险废物委托具有资质的单位安全处置,不会产生二次污染。

5.5 地下水污染防治措施



按照“源头控制,分区防治,污染监控,应急响应”原则进行防治。将生产车间、污水处理站以及连接管沟、危险废物暂存间等区域列为全厂重点污染防治区,重点污染区内地面及排水明沟做防渗漏处理之后,表面涂覆环氧树脂;与污水收集池连接的污水通道内做同样的处置。通过上述措施可使重点污染区各单元防渗层渗透系数≤10-10cm/s。

5.6 环境风险分析结果



本项目生产过程中使用各类化学品及特种气体。本项目运行后可能发生的各类事故中,泄漏和中毒事故占总事故的半数以上,因此可以认为储罐区泄漏事故应为本项目环境风险的最大可信事故。本项目采取有毒有害气体工程控制措施、危险化学品工程控制措施、废水工程控制措施、化学品及危险废物运输控制措施后,把有毒有害物质的泄漏可能降低到最低。当出现事故时,要采取紧急的工程应急措施和社会应急措施,以控制事故和减少对环境造成的危害。本项目环境风险水平可接受;风险管理措施有效、可靠;从环境风险的角度分析,本项目可行。

6.结论

拟建项目符合国家产业政策、清洁生产以及当地城市总体规划,项目在建设中和建成运行以后将产生一定程度的废气、污水、噪声及固体废物的污染,在落实施清洁生产、严格采取本评价提出环保措施、实施环境管理与监测计划以及主要污染物总量控制方案以后,项目对周围环境的影响可以控制在国家有关标准和要求的允许范围以内,并将产生较好的社会、经济和环境效益。在拟建项目从环境保护角度分析,拟建项目可行。
  
  • 小小蘑菇
  • 发表于:2017/12/13 16:05:36
  • 来自:湖北
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太专业,看不懂
  
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